Canon: Nanoimprinting -teknologi forventes at fremstille 2nm halvledere
Canon Corporation of Japan annoncerede den 13. oktober lanceringen af FPA-1200NZ2C Nanoimprint (NIL) Semiconductor Manufacturing Equipment.Canon CEO Fujio Mitarai har oplyst, at virksomhedens nye nanoimprint -teknologi vil bane vejen for små halvlederproducenter at producere avancerede chips, og denne teknologi ejes i øjeblikket næsten helt af de største virksomheder i branchen.
Når man forklarede Nanoimprinting -teknologi, sagde Iwamoto Kazunori, lederen af Canons Semiconductor Equipment -forretning, at Nanoimprinting -teknologi involverer at presse en maske med et halvlederkredsløbsdiagram på en wafer.Ved kun at præges en gang på en skive kan komplekse to-dimensionelle eller tredimensionelle kredsløb dannes i den relevante position.Hvis masken forbedres, kan selv produkter med en kredsløbslinjebredde på 2nm produceres.I øjeblikket muliggør Canons NIL -teknologi minimumslinjebredden for mønsteret at svare til en 5NM -knude -logik -halvleder.
Det rapporteres, at 5NM -chipfremstillingsudstyrsindustrien er domineret af ASML, og Canons nanoimprint -metode kan hjælpe med at indsnævre kløften.
Med hensyn til udstyrsomkostninger erklærede Iwamoto og Takashi, at kundeomkostningerne varierer afhængigt af betingelserne, og det anslås, at de omkostninger, der kræves til en litografiproces, undertiden kan reduceres til halvdelen af traditionelt litografitilstyr.Reduktionen i skala af nanoimprintudstyr letter også introduktionen af applikationer såsom forskning og udvikling.Canon CEO Fujio Mitarai har oplyst, at prisen på virksomhedens nanoimprintudstyrsprodukter vil være et ciffer, der er lavere end ASMLs EUV (ekstreme ultraviolet) udstyr, men den endelige prisbeslutning er ikke truffet endnu.
Det rapporteres, at Canon har modtaget mange forespørgsler fra halvlederproducenter, universiteter og forskningsinstitutter vedrørende sine kunder.Som et alternativt produkt til EUV -udstyr forventes nanoimprintudstyr meget.Denne enhed kan bruges til forskellige halvlederapplikationer såsom flashhukommelse, personlig computerdram og logik.